平整度（也稱平直度）是機(jī)械密封圈的一項(xiàng)重要質(zhì)量指標(biāo)，要求在0.0009mm以內(nèi)。這樣的數(shù)量級(jí)不能用普通測(cè)量工具測(cè)量。準(zhǔn)確而快速的方法是光學(xué)干涉法。它需要一個(gè)光學(xué)平面晶體和單色光源，通常是鈉光。檢查時(shí)，將平板晶體放在待檢查的機(jī)械密封端面上，并在上斜面用鈉燈照射（圖15），檢查干涉條紋的數(shù)量。

鈉光的波長(zhǎng)為0.6μm。每個(gè)干涉條紋為半個(gè)波長(zhǎng)，即一個(gè)干涉條紋為0.3μm。機(jī)械密封面的平整度可通過干涉條紋的數(shù)量來確定。